韩媒：三星LG计划为柔性OLED面板引入ALD薄膜封装工艺玩具马达

三星在SID 2016上展出的5.7英寸QHD（2560×1440）柔性AMOLE面板，厚度仅0.3mm。

LG Display已经完成了ALD方面的研究，并且开始为柔性OLED面板制程引入ALD技术，而三星方面也在快速引入这项技术。

两家公司都已经完成了ALD技术的研发，并且进入了商业化的开发阶段。对OLED来说，它的有机材料是很脆弱的，尤其在抵御水和氧方面。

为了保护OLED，需要在上面覆盖多层薄膜。虽然面板制造期间用到数量有不同（3-5次），但其均采用了Vitex方法（覆盖有机或无机薄膜）。

通常情况下，制造商可以使用PECVD（等离子增强化学汽相沉积）、溅射（Sputtering）、以及ALD等无机薄膜封装技术，而Kateeva的喷墨印刷技术则采用了有机薄膜沉积。

Samsung Display和LG Display都选择了PECVD这项无机薄膜封装技术。